第十一章：国产第一台极紫外光刻机
此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。
因为人太多，就会带入很多细菌和灰尘。
此时苏晨在实验室中担任指挥，其他科研人员都在紧急调配。
里面是一个非常小巧的机器。
大家看了以后都很疑惑。
因为极紫外光刻机大家不是没有见过。
体型非常庞大！
毫不夸张的说，相当于一辆公共汽车大小！
通体白色，非常占地方。
而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大，机型是黑色的。
看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。
让人有些担心，这种机器真的可以做到7nm、5nm，乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗？
此时里面的苏晨已经恢复了精神，面色平静，没有一丝感情。
似乎他已经没有体力让自己兴奋起来！
“老师，实验可以开始了。”
苏晨开口说道。
杨平按下麦克风的按钮：“第9次芯片生产实验，启动！”
随着一声令下。
科研人员操作者机械臂，吸附起了一块12英寸的晶圆。
放入正在传送的履带之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。
旁边的操作人员紧张的汇报着数据。
因为过于紧张，连声音都有些颤抖。
“报告……启动程序无故障！”
“电压稳定设备运行正常！”
“监控设备运行正常！”
“……”
此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！
大家仿佛可以听到，机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。
要知道，这东西的声音人类几乎不可能捕捉到！
但是此时大家就是可以听到！
出了仪器发出的细微声响之外。
整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸声！
苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕的光刻进度条。
进度条一点点的衍生，他的手心开始湿润了起来。
这场实验已经接近十次了！
这次是最接近成功的一次！
极紫外光刻机太重要了。
有了它，只要有了芯片图谱，就可以制造出来相应的芯片！
而就在不久之前，杨平实验了5nm芯片图谱，还在实验阶段！
而今天，他们就是要利用光刻机生产5nm芯片！
如果真的可以做到这些，那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步！
终于，在万众瞩目中，进度条拉满！
一块晶圆被吐了出来，机械臂再度吸起来，然后放入蚀刻机。
这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。
时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。
终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。
苏晨这个时候立刻去开始查看数据。
随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。
他看向自己的老师，对方已经明白了结果。
“我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！”
声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！
甚至有的人激烈的拥抱在了一起！
“成功了！！！！5nm芯片啊！！！！”
“我们可以挺起腰杆来做人了！”
“极紫外光刻机！5nm芯片！！！外国佬，就你们有5nm？”
……
是的，接下来只要能研究出来图谱，那么这台光刻机就能制造出来！
几位院士也老泪纵横。
他们没想到居然真的成功了！
其实他们来之前，还是觉得这次会失败的！
但是现实告诉了他们结果！
“小苏，干的漂亮啊！”
“杨平，你后继有人了！这次你和小苏都立了大功啊！”
“我国有杨平和苏晨，半导体行业才能如此突飞猛进啊！”
几个院士说的毫不夸张！
杨平研究了芯片图谱出来，而苏晨拿出了光刻机图谱出来。
这一前一后，可以说是相辅相成！
在大家庆祝的时候，只有杨平一个人默默的进入了净室。
他扶着身心俱疲的苏晨一起从净室出来。
“老师，详细的数据报告还需要一会儿时间，我可以再等等。”
苏晨很想等到详细数据报告。
因为刚刚那个数据只是代表着光刻机的生产成功了。
但是看不出良品率的高低。
一台光刻机一定要看良品率。
说白了，一片12英寸的晶圆，可以切割700片手机芯片。
但是能用的只有500左右。
这就是因为良率不行，
那些芯片达不到要求！
说白了这就是斯麦尔的极紫外光刻机的良品率。
而想要测出来良率，就要等这些芯片挨个绑定激活才行。
这最起码还需要几个钟头！
杨平满脸心疼。
“小苏，你已经30个小时没有合眼了，还是先休息一下吧！”
苏晨却固执的摇了摇头。
杨平叹了口气。
他知道自己这个学生的性格。
决定的事情就不会反悔！
而且还得顺毛捋，不然就炸毛。
“也好，你看完详细报告之后，我派人送你回家。”
“让你女朋友来照顾你。”
此时苏晨已经听不清老师在说什么了。
只是点头。
很快，一个工程师兴奋的跑了过来。
“杨院士！详细数据报告出来了！”
“快说！”
“这张12英寸的晶圆去除边角料之后，一共生产了713片芯片！”
“能使用的芯片有555片！”
“我们的良率刷新了世界纪录，达到了%！”
杨平满脸惊讶！
要知道，斯麦尔公司的极紫外光刻机良率只有71%啊！
“小苏，你听到了吗！？”
“小苏！”
杨平骇然发现，苏晨似乎失神了。
很显然是太过疲劳导致的。
“老师，我没事，就是有点累。”
苏晨轻轻摇了摇头，语气十分虚弱。
“快，送苏工回家！”
杨平立刻喊道。
“是！”
苏晨很满意。
他听到了%的数据，立刻就感觉一股热流直逼天灵盖。
这股热流带给了他无限的轻松，以至于他有些停止了思考。
此时周淑伊还在直播间里开着直播。
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因为人太多，就会带入很多细菌和灰尘。
此时苏晨在实验室中担任指挥，其他科研人员都在紧急调配。
里面是一个非常小巧的机器。
大家看了以后都很疑惑。
因为极紫外光刻机大家不是没有见过。
体型非常庞大！
毫不夸张的说，相当于一辆公共汽车大小！
通体白色，非常占地方。
而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大，机型是黑色的。
看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。
让人有些担心，这种机器真的可以做到7nm、5nm，乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗？
此时里面的苏晨已经恢复了精神，面色平静，没有一丝感情。
似乎他已经没有体力让自己兴奋起来！
“老师，实验可以开始了。”
苏晨开口说道。
杨平按下麦克风的按钮：“第9次芯片生产实验，启动！”
随着一声令下。
科研人员操作者机械臂，吸附起了一块12英寸的晶圆。
放入正在传送的履带之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。
旁边的操作人员紧张的汇报着数据。
因为过于紧张，连声音都有些颤抖。
“报告……启动程序无故障！”
“电压稳定设备运行正常！”
“监控设备运行正常！”
“……”
此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！
大家仿佛可以听到，机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。
要知道，这东西的声音人类几乎不可能捕捉到！
但是此时大家就是可以听到！
出了仪器发出的细微声响之外。
整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸声！
苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕的光刻进度条。
进度条一点点的衍生，他的手心开始湿润了起来。
这场实验已经接近十次了！
这次是最接近成功的一次！
极紫外光刻机太重要了。
有了它，只要有了芯片图谱，就可以制造出来相应的芯片！
而就在不久之前，杨平实验了5nm芯片图谱，还在实验阶段！
而今天，他们就是要利用光刻机生产5nm芯片！
如果真的可以做到这些，那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步！
终于，在万众瞩目中，进度条拉满！
一块晶圆被吐了出来，机械臂再度吸起来，然后放入蚀刻机。
这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。
时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。
终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。
苏晨这个时候立刻去开始查看数据。
随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。
他看向自己的老师，对方已经明白了结果。
“我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！”
声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！
甚至有的人激烈的拥抱在了一起！
“成功了！！！！5nm芯片啊！！！！”
“我们可以挺起腰杆来做人了！”
“极紫外光刻机！5nm芯片！！！外国佬，就你们有5nm？”
……
是的，接下来只要能研究出来图谱，那么这台光刻机就能制造出来！
几位院士也老泪纵横。
他们没想到居然真的成功了！
其实他们来之前，还是觉得这次会失败的！
但是现实告诉了他们结果！
“小苏，干的漂亮啊！”
“杨平，你后继有人了！这次你和小苏都立了大功啊！”
“我国有杨平和苏晨，半导体行业才能如此突飞猛进啊！”
几个院士说的毫不夸张！
杨平研究了芯片图谱出来，而苏晨拿出了光刻机图谱出来。
这一前一后，可以说是相辅相成！
在大家庆祝的时候，只有杨平一个人默默的进入了净室。
他扶着身心俱疲的苏晨一起从净室出来。
“老师，详细的数据报告还需要一会儿时间，我可以再等等。”
苏晨很想等到详细数据报告。
因为刚刚那个数据只是代表着光刻机的生产成功了。
但是看不出良品率的高低。
一台光刻机一定要看良品率。
说白了，一片12英寸的晶圆，可以切割700片手机芯片。
但是能用的只有500左右。
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那些芯片达不到要求！
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而想要测出来良率，就要等这些芯片挨个绑定激活才行。
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杨平满脸心疼。
“小苏，你已经30个小时没有合眼了，还是先休息一下吧！”
苏晨却固执的摇了摇头。
杨平叹了口气。
他知道自己这个学生的性格。
决定的事情就不会反悔！
而且还得顺毛捋，不然就炸毛。
“也好，你看完详细报告之后，我派人送你回家。”
“让你女朋友来照顾你。”
此时苏晨已经听不清老师在说什么了。
只是点头。
很快，一个工程师兴奋的跑了过来。
“杨院士！详细数据报告出来了！”
“快说！”
“这张12英寸的晶圆去除边角料之后，一共生产了713片芯片！”
“能使用的芯片有555片！”
“我们的良率刷新了世界纪录，达到了%！”
杨平满脸惊讶！
要知道，斯麦尔公司的极紫外光刻机良率只有71%啊！
“小苏，你听到了吗！？”
“小苏！”
杨平骇然发现，苏晨似乎失神了。
很显然是太过疲劳导致的。
“老师，我没事，就是有点累。”
苏晨轻轻摇了摇头，语气十分虚弱。
“快，送苏工回家！”
杨平立刻喊道。
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